4: 弊社取扱い製品・パートナー製品

☆取扱い企業・製品

Active Layer Parametrics Inc 

  • 業界初!Dope層移動度と深さ方向プロファイルを直接計測します

  • #半導体・#トランジスタ・#P型・#N型・#ドーパント・#拡散層・#比抵抗・#移動度・#キャリア濃度 #深さ方向分布・#計測器・#インライン・#SiGe・#GaN
  • ALP incが提供する技術・装置が比抵抗・移動度・キャリア濃度とそれらの0.5nm毎の深さ方向プロファイル解析を可能とします。”Atomic Layer Metrology”

  • シンプルな測定サンプル作成と独自の短時間計測がDoped-Poly Siやイオンインプラント工程で300mmウエファレベルのQC計測を可能としました

  • これまでの計測方法の抱えて来た問題点
    • 「抵抗値」「キャリア移動度」「キャリア濃度」とそれらの「深さ方向プロファイル」の測定は3種類の専用計測器が必要。
    • 測定サンプルの作成に斜め研磨等の熟練技術と工数が必須となり、専らR&D部門でのオフライン計測に限定される。
    • 移動度とデバイス特性の相関が理解できずプロセス最適化に多大な工数を要す。
  • ALP incは2015年CA UCLAの研究室で産声を上げたスタートアップ企業です。すでにスタッフィングを完了しシリコンバレーに研究開発拠点を移し製品開発にく着手します。
  • 開設当初よりα機を使い米国内半導体メーカーとのdemonstrationを通してデータと経験を蓄積してまいりました。台湾や韓国半導体メーカー様からも強いご関心を頂いております。
  • 2018年4月、ALPro-50を米国の委託分析ラボに納入、各種委託分析を実施中

2:IDL inc

  • 世界から発信される珠玉の事業・技術・パテント・製品の数々!これらのビジネスの日本の個人・法人様への技術移転M&A,IT・ライセンス販売,ベンチャーファンド紹介 等の橋渡しから日本発テクノロジーのUS進出サポートも承ります。

☆販売パートナーシップ(販売協力企業と製品)


1:チェコSVCS Process Innovation社          (国内AEMP社取扱)横型炉、PECVD装置と改造・Upgrade・石英parts販売

各メーカー装置管理・運営・修理・改造に携わる方々に最適ソリューションを提供。ご要望に合わせたカスタムパーツの製造にも対応します。

SVCSはこちらhttp://www.svcs.cz/index.php               AEMPはこちらhttp://www.aempjp.com/svcs.html

2:中国FOCUSLIGHT社(国内INDECO社取扱) 家庭用半導体レーザー光ハンディ脱毛器(写真ご参照)

写真-5

  • ハイパワー半導体レーザー応用機器の製造・販売・サービス。
  • 産業機器メーカー様へのレーザーアッシー部分とコントローラーの設計と販売

FOCUSLOGHTはこちらhttp://www.focuslight.com.cn/          INDECOはこちらhttp://www.indeco.jp/indeco_online/main/htm/focustop.htm


3:韓国ISAC Research社(国内AEMP取扱) 簡易型ALD装置


4:東京電子㈱極高真空対応イオンゲージ(10E-9 pa)と残留ガス質量分析器


5:ドイツ・PLASUS社(国内フォーユー取扱) プラズマ発光スペクトルモニタ・コントローラ


6:複数メーカー・HiPIMS用(High Power Impulse  Magnetron Sputtering ) 電源装置

 

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