4: 弊社取扱い製品・パートナー製品

☆取扱い企業・製品

Active Layer Parametrics Inc 

http://www.alpinc.net/

    • 業界初!ユニークなDHEM計測によりDope層の移動度・比抵抗・ドーパント濃度と深さプロファイルを直接計測します

    • #半導体・#トランジスタ・#P型・#N型・#ドーパント・#拡散層・#比抵抗・#移動度・#キャリア濃度 #深さ方向分布・#計測器・#インライン・#SiGe・#GaN
  • ALP incの技術・装置が比抵抗・移動度・キャリア濃度とそれらの0.5nm毎の深さプロファイル解析を可能にしました。“Atomic Layer Depth Profiling Metrology”

  • ユニークなサンプル作成とDHEMテクノロジの採用でEpiやイオン打込工程におけるドーパント濃度と分布をインラインで計測可能としました

  • 従来の計測方法の抱える課題
    • 「抵抗値」「キャリア移動度」「キャリア濃度」とそれらの「深さ方向プロファイル」の測定は3種類の専用計測器が必要。
    • 測定サンプルの作成に斜め研磨等の熟練技術と工数が必須となり、専らR&D部門でのオフライン計測に限定される。
    • 移動度とデバイス特性の相関が理解できずプロセス最適化に多大な工数を要す。
  • ALP incは2015年CA UCLAの研究室で産声を上げたスタートアップ企業です。すでにスタッフィングを完了しシリコンバレーに研究開発拠点を移し製品開発にく着手します。
  • 開設当初よりα機を使い米国内半導体メーカーとのdemonstrationを通してデータと経験を蓄積してまいりました。台湾や韓国半導体メーカー様からも強いご関心を頂いております。
  • 2018年4月、ALPro-50を米国の委託分析ラボに納入、各種委託分析を実施中

2:IDL inc

  • 世界から発信される珠玉の事業・技術・パテント・製品の数々!これらのビジネスを日本の個人・法人様へ技術移転M&A,IT・ライセンス販売,ベンチャーファンド紹介 等の橋渡ならびに日本発テクノロジーのglobalへの進出サポートも承ります。

☆販売パートナーシップ(販売協力企業と製品)


FocusLight社 (INDECO社取扱)家庭用半導体レーザー光ハンディ脱毛器(写真ご参照)

写真-5

    • ハイパワー半導体レーザー応用機器の製造・販売・サービス。
  • 産業機器メーカー様へのレーザーアッシー部分とコントローラーの設計と販売

FOCUSLOGHTはこちらhttp://www.focuslight.com.cn/           INDECOはこちらhttp://www.indeco.jp/indeco_online/main/htm/focustop.htm


3:韓国ISAC Research社(国内AEMP取扱) 簡易型ALD装置

https://www.isacresearch.com/


4:東京電子㈱極高真空対応イオンゲージ(10E-9 pa)と残留ガス質量分析器

https://toel.co.jp/


5:ドイツ・PLASUS社(国内フォーユー取扱) プラズマ発光スペクトルモニタ・コントローラ

https://www.foucorp.com/


6:複数メーカー・HiPIMS用(High Power Impulse  Magnetron Sputtering ) 電源装置

https://toel.co.jp/

https://www.foucorp.com/magpuls

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